晶片冲洗机/烘干机 可选型号 RD-100-6NPP 轻便的台式机型 8.5’’(216毫米)直径,碗状处理腔 可容纳达6’’(150毫米)直径或4’’× 4’’(102×102毫米)方形称底 小型*的冲洗烘干系统 RD-100-6NPP-IND *湿台性的表面,包括远程控制器 8.5’’(216毫米)直径,碗状处理腔体 可容纳达6’’(150毫米)直径或4’’× 4’’(102×102毫米)方形衬底 较小和花费较少的湿台冲洗机/烘干机 RD-100-8NPP 轻便的台式机型 12.5’’(318毫米)直径,碗状处理腔 可容纳达8’’(200毫米)直径或7’× 7’’(178×178毫米)方形衬底 较少花费的200毫米晶片冲洗机/烘干机 RD-100-8NPP-IND *湿台性的表面,包括远程控制器 12.5’’(318毫米)直径,碗状处理腔体 可容纳达8’’(200毫米)直径或7’’× 7’’(178×178毫米)方形衬底 花费较少的200毫米湿台冲洗机/烘干机