WS-1000湿法设备
全白色聚丙烯构造
可内置任何Laurell公司的旋涂机
排放简便的入氮口和DI喷头
如果需要更小尺寸有微型的供选择
一般信息
Laurell公司的WS-1000系列旋转处理湿法设备可以被配置成测试模块构造,安装简便,易于拆卸,更便于操作者控制。典型的WS-1000处理过程包括(但不限于):
涂敷
蚀刻
开发-水/溶剂
清洗-水/溶剂
确认,硫酸/双氧水(原样混合)
确认,HBr
温控开发
冲洗/烘干
特点:
全聚丙烯构造(见下文的自灭火功能)
可兼容安装任何Laurell 旋涂机
有排孔的湿隔层(易于拆除)
潮湿的空间
标准规格的排气空间
被热水器,水泵,容器等隔离的组件/容器
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